09:30 〜 11:30 [21a-PA3-1] Sb 添加β-FeSi2 エピタキシャル膜におけるSi/Fe 組成比の最適化 〇木下 涼太1、阿部 光希1、江口 元1、寺井 慶和1 (1.九工大情報工)