15:45 〜 16:00 [21p-C309-9] プリセッション電子回折を用いたMEMSデバイス断面の結晶方位解析およびデバイス特性との関連 〇藤本 亮祐1、安田 光伸1、篠崎 夕子1、川崎 直彦1、大塚 祐二1 (1.東レリサーチ)