[18a-E310-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-E310-10] アンモニアフリー高温有機金属気相成長法における高品質AlN成長

〇沈 旭強¹、児島 一聡¹、奥村 元¹ (1.産総研)

キーワード：窒化物

我々はアンモニアフリー高温有機金属気相成長法(AFHT-MOVPE)を新規開発した。今回、この成長法を用いサファイア基板上に高品質なAlN薄膜成長と評価を行ったので、その結果を報告する。