[18a-E318-1~14] 【CS.7】 7.2 電子ビーム応用、7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[18a-E318-14] X線光電子分光における時空間計測・解析手法の開発II

〇豊田 智史¹、山本 知樹²、吉村 真史³、住田 弘祐⁴、三根生 晋⁴、町田 雅武⁵、吉越 章隆⁶、吉川 彰¹、鈴木 哲¹、横山 和司² (1.東北大学、2.兵庫県大、3.SP8サービス、4.マツダ、5.シエンタオミクロン、6.原子力機構)

キーワード：埋もれた界面、X線光電子分光、深さ方向分布の時系列解析

我々は、埋もれた界面の反応動態を直接観測する技術を構築するため、新たなX線光電子分光データ計測・解析法の開発に取り組んでいる。これまで、二次元検出器で取得した角度分解光電子分光データを元に、深さ方向分布の時系列解析を行う手法を提案し、シミュレーションで有効性を示した。本発表では、露光時間1秒の近大気圧下硬X線角度分解光電子分光データにより、多層積層膜界面反応の”動画撮影”に挑戦した結果を報告する。