[18a-PA2-1~7] 1.3 新技術・複合新領域

[18a-PA2-4] 炭素熱還元を用いたMOD法によるVO₂薄膜の作製条件の検討

〇藤城 雄飛¹、河原 正美²、佐村 剛²、立木 隆¹、内田 貴司¹ (1.防衛大電気電子、2.高純度化学研)

キーワード：有機金属分解法、二酸化バナジウム、炭素熱還元