[18a-PB3-1~47] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-PB3-24] MOVPE法によるScAlMgO₄基板上GaInN薄膜の成長

〇石本 聖治¹、Han Dong-Pyo¹、眞野 稜也¹、上山 智¹、竹内 哲也¹、岩谷 素顕¹、赤﨑 勇^1,2、福田 承生³、藤井 高志³ (1.名城大学、2.名古屋大・赤﨑記念研究センター、3.福田結晶技術研究所)

キーワード：GaInN、ScAlMgO4、MOVPE