[18a-PB3-1~47] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-PB3-6] N₂プラズマ照射を行ったエピタキシャルグラフェン上極薄AlN中間層の界面状態分析

〇鎌田 裕太¹、竹内 智哉¹、社本 利玖¹、橋本 明弘¹ (1.福井大院工)

キーワード：極薄AlN中間層、エピタキシャルグラフェン