[18p-E216-11~17] 10.1 新物質・新機能創成（作製・評価技術）

[18p-E216-12] 大径Siウエハ上への単結晶Co₂MnGaフルホイスラー合金薄膜の成膜開発

〇中野 貴文^1,4、三輪 真嗣^2,4、肥後 友也^2,4、福島 章雄^1,4、湯浅 新治^1,4、中辻 知^2,3,4、薬師寺 啓^1,4 (1.産総研、2.東大物性研、3.東大理物、4.JST-CREST)

キーワード：ホイスラー合金、磁気トンネル接合

近年，巨大な異方性磁気抵抗効果や異常ネルンスト効果を発現するCo₂MnGaフルホイスラー合金が注目を集めている．本研究では，我々のグループが近年開発した単結晶薄膜の作製技術を用いて，大径Siウエハ上へのCo₂MnGaフルホイスラー合金薄膜の成膜開発をおこなった．