[18p-E303-1~11] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[18p-E303-5] ナノスケールデバイスシミュレーションのための機械学習の応用に関する検討

〇相馬 聡文¹、有堀 光貴¹、牧 大介¹、小川 真人¹ (1.神戸大院工)

キーワード：半導体、デバイスシミュレーション、機械学習