[18p-E317-1~11] 9.1 誘電材料・誘電体

△ [18p-E317-5] レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜HBAR型トランス

〇(M1)木下 紗里那^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JSTさきがけ)

キーワード：圧電トランス、圧電薄膜、ScAlN

無数の小型センサを散りばめるIoT社会には半永久的にワイヤレスで電源の供給をする技術が求められる。その方法として周囲の電波から発電する方法が考えられるが、電波強度が微弱でレクテナを効率的に駆動できない。そこで本研究では、入力電波の電圧を昇圧する小型素子として、ScAlN圧電薄膜の多層構造を用いた圧電トランスを提案する。今回4層構造を用いた圧電トランスの作製、電気特性の測定を行い、開放電圧12倍の昇圧に成功した。