[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-7] ベンゼン-N₂-Ar混合気体高周波プラズマを用いた高窒素含有a-CN_x:H薄膜の合成と構造解析

〇家老 克徳¹、伊藤 治彦¹、斎藤 秀俊¹ (1.長岡技科大工)

キーワード：プラズマCVD、窒化炭素、アモルファス