[18p-PB1-1~84] 10 スピントロニクス・マグネティクス（ポスター）

[18p-PB1-65] SMRM用磁壁ピニング型センサの局所磁場応答特性

〇藤原 正浩¹ (1.北大院情報科学)

キーワード：磁場センサ

強磁性体薄膜の磁区構造やダイナミクスの観察や磁性体微粒子への応用研究においては高空間分解能を有し、かつ定量測定が可能な技術が必要とされている。そのため、磁場分布の測定には磁気力顕微鏡に代表されるプローブ顕微鏡技術を応用した様々な測定手法が検討されてきた。著者らのグループはその中でも微小領域においての高空間分解能の凹凸情報と、磁気分布との定量測定が同時に測定可能であり、高速応答が期待できる走査型磁気抵抗効果顕微鏡に着目し，センサ素子のサイズ・形状およびそのカンチレバー化について検討してきた。これまでに試作開発したSMRMにより、強磁性体薄膜表面近傍の磁場分布測定や微細配線に流れる電流が誘起する磁場の定量測定が可能であることを示した。近年では、素子サイズ程度とされる空間分解能を、ピン止めした磁壁を用いることで素子サイズよりも高めることについての研究について発表する。