[18p-PB5-1~36] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18p-PB5-28] MgO単結晶の真空紫外線領域のカソードルミネセンススペクトル

〇工藤 幹太¹、星 翔馬²、小野 瑞生¹、藤原 有基¹、金子 健太郎²、山口 智広¹、本田 徹¹、藤田 静雄²、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大、2.京都大)

キーワード：酸化マグネシウム、カソードルミネッセンス、真空紫外線

我々はVUV発光材料として岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛（RS-Mg_xZn_1-xO）に注目している。本研究では、終端材料であるMgO単結晶のVUV領域でのカソードルミネッセンス(CL)測定を行い、発光材料としてのポテンシャルを調査した。本実験のCLスペクトルと文献の反射スペクトルの比較より、低温環境では束縛励起子発光が支配的、室温では自由励起子が支配的と同定された。以上より、MgOを終端材料とするRS-Mg_xZn_1-xOの発光材料としての高いポテンシャルが示された。