2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.7 レーザープロセシング

[19a-N304-1~10] 3.7 レーザープロセシング

2019年9月19日(木) 09:00 〜 11:45 N304 (N304)

石川 善恵(産総研)、欠端 雅之(産総研)

09:00 〜 09:15

[19a-N304-1] F2レーザーによるポリカーボネート上Al薄膜の
マイクロパターニング

吉田 剛1、野尻 秀智2、大越 昌幸1 (1.防大電電、2.(株)レニアス)

キーワード:VUVレーザー、マイクロパターニング

本研究室ではポリカーボネート(=PC)窓材のスマート化のため電極形成技術の開発を目指している。本発表ではシリコーン樹脂によるハードコート層を持つPC基板上に真空蒸着したAl薄膜を対象としてF2 レーザー照射とKOH水溶液によるケミカルエッチングを用いたAl薄膜のパターニング手法を報告し、その加工メカニズムについてAl蒸着膜やPC基板表面のXPS、ATR-IRスペクトルをもとに議論する。