[19a-PA3-1~10] 3.13 半導体光デバイス

[19a-PA3-10] 結晶中原子の未結合手を塩素終端した六方晶セレン薄膜における欠陥準位の評価

〇為村 成亨¹、峰尾 圭忠¹、宮川 和典¹、難波 正和¹、久保田 節¹ (1.NHK放送技術研究所)

キーワード：結晶セレン、撮像デバイス、塩素

撮像デバイスでは、多画素化による１画素あたりの入射光量の減少に伴う感度低下が課題とされてきた。我々は結晶セレン膜を回路上に積層することで高感度化な撮像デバイスの開発を目指している。結晶セレンは、膜剥れ防止のためテルルを挿入して作製するが、テルルの混入で結晶中に未結合手が生じ結晶欠陥となる。本報告では、セレンに塩素を添加し未結合手を終端することで欠陥を低減したことについてCL測定の結果から説明する。