[19p-E202-1~10] 12.7 医用工学・バイオチップ

[19p-E202-3] 電子線励起高空間分解能イオンイメージングのための基板構造の最適化

〇新井 清久¹、居波 渉²、川田 善正^1,2 (1.静大院光、2.静大電研)

キーワード：半導体、バイオセンサー、イオンイメージング

我々は電子線励起による，高空間分解能イオンイメージングシステムを開発してきた．本システムの特徴は細胞の局所的なイオン分布や，イオンの授受を高い空間分解能で観察できることである．本システムではイオンイメージングに半導体センサ基板と収束電子線を用いる．収束電子線を用いることで，高い空間分解能を実現する．今回は，ウインドウ構造の基板を作製した結果について報告する．