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△ [19p-E214-6] 酸化タングステン (WO3-x) 薄膜の構造と物性 (2) : 様々な還元状態における熱伝導率
キーワード:エレクトロクロミック材料、酸化タングステン、熱伝導率
アモルファス酸化タングステンは電気化学的な酸化還元反応により着消色するエレクトロクロミック材料であり、熱伝導率が可逆的に変化する熱スイッチ材料としての応用が期待されている。本研究では成膜時酸素流量比を変化させて還元した薄膜と電気化学的に還元した薄膜を作製し、熱伝導率をサーモリフレクタンス法により測定した。両方において還元による薄膜の熱伝導率の変化は極めて僅かで、ほとんど観測されなかった。