[19p-E308-1~13] 17.3 層状物質

[19p-E308-12] エタノールを用いたGa触媒大気圧CVDによる2層グラフェン形成

〇辻 友希¹、有馬 健太¹、山村 和也¹、川合 健太郎¹ (1.大阪大学)

キーワード：グラフェン、化学気相成長

CVDグラフェンの利用においては、触媒基板からの転写を必要とする。そこでGaを金属触媒とすることで、転写不要で直接基板にグラフェンを形成した。SiO₂/Si基板上にGaを滴下し、窒素雰囲気下で1000℃に加熱しエタノール蒸気を流すことでGa表面に2層のグラフェンを形成した。Ga除去後基板上にも2層のグラフェンが形成されていることを確認した。