[19p-E318-1~10] 7.1 X線技術

[19p-E318-3] EUV顕微鏡付加拡大系用の凹面Mo/Si多層膜ミラーの作製

〇相澤 駿介^1,2、角館 俊行¹、豊田 光紀^1,2 (1.東北大多元研、2.東京工芸大工)

キーワード：EUV顕微鏡

我々は波長13.5nmの極紫外線(EUV)を用いる透過型EUV顕微鏡を開発している。顕微鏡は、LPP光源とMo/Si多層膜ミラー光学系からなり、実験室環境で簡便に高分子材料等のナノイメージングが可能となる。光学系は5枚のMo/Si多層膜ミラーの製作が鍵となり、我々はこれまで拡大光学系に用いる3枚のミラーの内2枚を完成させた。本講演では拡大光学系用の付加拡大用多層膜ミラーの成膜結果について報告する。