[19p-N302-1~9] 新しいスピントロニクス材料と物性

[19p-N302-5] ワイル反強磁性体Mn₃Sn薄膜の室温成膜と平坦化

〇薬師寺 啓^1,4、中野 貴文^1,4、肥後 友也^2,4、小林 鮎子^2,4、三輪 真嗣^2,4、中辻 知^2,3,4 (1.産総研スピン、2.東大物性研、3.東大理物、4.CREST)

キーワード：ワイル材料

ワイル反強磁性体であるMn₃Snについて、室温でのスパッタ法による合金膜形成を試みるとともに、デバイス応用で重要である表面平坦性を得るための開発を行った。