[19p-PA7-1~10] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[19p-PA7-3] 接合したシリカガラス間のOH基拡散解析方法の改良

〇青木 裕亮¹、杉山 雄哉¹、葛生 伸¹、堀越 秀春²、堀井 直宏³ (1.福井大工、2.東ソー・エスジーエム、3.福井高専)

キーワード：非結晶

OH濃度の異なるシリカガラスを接合して熱処理したときのOH濃度分布が変化をボルツマン・俣野法で解析し，拡散係数がOH濃度に比例することを確認した。アナログな方法を用いたいめ，十分な解析精度が得られる新たな近似関数を用いて計算した。その結果を，OH濃度分布への理論解フィッティングで得た結果および従来の結果と比較することで近似関数の妥当性を検証した。