[19p-PB1-1~34] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [19p-PB1-14] ITOをフォトゲートに用いたフィルタフリー蛍光センサの短波長領域における感度向上

〇(M2)手島 拓哉¹、崔 容俊¹、野田 佳子¹、神谷 幸子¹、赤井 大輔¹、飛沢 健¹、高橋 一浩¹、石井 仁¹、野田 俊彦¹、澤田 和明¹ (1.豊橋技術科学大学)

キーワード：蛍光、バイオセンサ、ITO

本稿では短波長(400 nm以下)の光を弁別できるフィルタフリー蛍光センサの開発について述べる。本センサはフォトゲート構造を持ち、励起光と蛍光を同時に入射することで、それぞれの光強度を算出できる。ゲート電極に使用していたポリシリコンをITOに変更することで、ゲート電極による短波長の光の吸収を抑えることができ、従来の構造では不可能だった365 nmと405 nmの光の分離に成功した。