2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・診断

[20a-B11-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

2019年9月20日(金) 09:00 〜 11:45 B11 (B11)

松田 良信(長崎大)

10:45 〜 11:00

[20a-B11-7] 純ヘリウム大気圧グロー放電の制動放射スペクトル空間分解計測

長崎 意尚1、四竈 泰一1、上野 陽平1、蓮尾 昌裕1 (1.京大院工)

キーワード:大気圧プラズマ、制動放射、分光計測

受動分光で計測した紫外から可視域の制動放射スペクトル形状を利用して,大気圧プラズマの電子温度・密度を推定できる.しかし,ガス組成や発光の空間積分によって計測誤差を生じる可能性がある.本研究では,純ヘリウム大気圧グロー放電プラズマに対し,制動放射スペクトルの空間分解計測を試みた.その結果,スペクトル形状の変化が観測され,電子温度・密度が空間変化している可能性が示唆された.