[20a-E307-1~6] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [20a-E307-6] ポリマーに転写した原子レベルナノパターンの光・熱による形状制御

〇(B)金子 奈帆¹、大賀 友瑛¹、大島 淳史¹、金子 智^2,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)

キーワード：原子レベルナノパターン、熱ナノインプリント、エキシマ光

ポリマー材料の大面積、軽量、フレキシビリティといった特徴は従来の薄膜堆積基板にはないデバイス応用をもたらす。薄膜の面内秩序構造形成のためには、面内でのより微細かつ高密度な周期的パターニングが重要となるが、研究例は未だ少ない。従って、本研究ではポリマー上での面内周期パターンの微細化を目的として、ポリマーシート上へのパターン転写と熱・光によるパターン形状制御について検討した。