[20p-E312-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-E312-3] 共焦点ラマン分光マッピングを用いたホモエピタキシャルダイヤモンド中の転位の評価Ⅱ

〇(PC)市川 公善¹、寺地 徳之¹、嶋岡 毅紘¹、加藤 有香子²、小泉 聡¹ (1.物材機構、2.産総研)

キーワード：ダイヤモンド薄膜、転位、ラマン分光

本研究では、共焦点ラマン分光マッピングで得られたホモエピタキシャルダイヤモンド中の転位像と位相差顕微鏡など他の評価法で得られた像を比較し、転位との相関を調べた。位相差顕微鏡により得られた転位像とラマン分光によるピークシフトマッピングで観察された歪ペアが、同一箇所で観察された。このことから、ラマン分光での歪ペアと転位との一対一の相関が得られた。