[20p-E313-1~17] 1.5 計測技術・計測標準

△ [20p-E313-3] 高湿度標準発生装置の能動的露点制御に関する研究

〇石渡 尚也¹、丹羽 民夫¹、阿部 恒¹ (1.産総研 計量標準総合センター)

キーワード：湿度標準、湿度発生、能動的制御

高湿度標準発生装置に関し、発生露点の高精度化を目指し能動的露点制御システムの開発を進めている。これまでに本システムは、大気圧変動による露点変動や高露点発生での露点ドリフトを抑制することに成功している。しかし、低露点発生での課題であった装置内温度の大きな変動による露点変動に対し、制御能力は十分でなかった。本発表では、装置の温度変動に対するシステムの露点制御能力向上への取組みとその成果を報告する。