[20p-PB2-1~18] 7 Beam Technology and Nanofabrication (Poster)

[20p-PB2-1] Strain visualization techneque using LACBED and NBD

〇Fumihiko Uesugi¹, Kouji Furukawa¹, Chiaki Tanii², Naoyuki Sugiyama^1,2, Masaki Takeguchi¹ (1.NIMS, 2.Toray research center, Inc)

Keywords:Strain, LACBED, NBD

半導体デバイスの分野では，歪が「どこ」に「どのくらいの大きさ」で存在するかを知ることは，デバイスを作製するうえで非常に重要な情報である．
電子回折図形の一種であるLACBED（Large Angle Convergent Beam Electron Diffraction）を用いて大域的な歪を，NBD（Nano Beam electron Diffraction）を用いて局所的な歪を精度よく測定する手法を提案した．今回は市販の45nmノードのデバイスに本手法を適用したのでその効果について報告する．