2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

12 有機分子・バイオエレクトロニクス » 12.4 有機EL・トランジスタ

[21a-B32-1~9] 12.4 有機EL・トランジスタ

2019年9月21日(土) 09:00 〜 11:30 B32 (B32)

福田 憲二郎(理研)、栗原 一徳(産総研)

11:00 〜 11:15

[21a-B32-8] 溶融転写成膜における同時パターニングと融液流動

金森 アヌーシュ1、大山 惇郎1、平田 直毅2、小熊 尚実2、市川 結1 (1.信州大繊、2.大日精化)

キーワード:有機トランジスタ、有機半導体、パターニング

当研究室で開発された有機半導体の流動相を利用した溶融転写プロセスを用い、無溶媒でパターニング成膜することを試みた。溶融転写によって直接、任意の位置に任意の形でのパターニング成膜を目標とし、ポリイミドフィルム上にフォトレジストパターンを作製したものを転写凹版フィルムとして用いることで有機薄膜の作製を試みた。また、膜形状を解析することで、融液を流動させるメニスカス力を定量した。