[21a-E208-1~12] 【CS.4】 3.11 フォトニック構造・現象と3.12 ナノ領域光科学・近接場光学のコードシェアセッション

[21a-E208-5] 電圧変調型中赤外バンドパスフィルタによる高速ガス検出

〇粟根 悠介^1,2、坂口 有平³、井上 卓也²、野田 進² (1.堀場製作所、2.京大院工、3.堀場エステック)

キーワード：フォトニック結晶、熱輻射、ガスセンシング

中赤外領域(3~15µm)は多くのガスの基本振動周波数が存在し、この波長を用いた非分散型赤外吸収法(NDIR)によりガス濃度が測定されている。我々はNDIRに適用するために、広帯域熱輻射光源と組み合わせて利用できる非機械式の単一光学素子として、量子井戸のサブバンド間遷移(ISB-T)とフォトニック結晶(PC)を利用した電圧変調型狭帯域バンドパスフィルタを設計・実証した。今回、上記の電圧変調型フィルタのガス検出適用可能性を検証したので結果について報告する。