16:45 〜 17:15 [11p-W933-8] 放射光ナノビームX線回折を用いた半導体材料・デバイスの構造解析 〇酒井 朗1、志田 和己1、植田 瑛1、藤平 哲也1、今井 康彦2、隅谷 和嗣2、木村 滋2 (1.阪大院基礎工、2.JASRI)