13:30 〜 15:30 [11p-PB3-6] スロープダウンバイアスICP-RIEによるn型GaNのエッチングダメージの制御 〇山田 真嗣1,2,3、櫻井 秀樹1,2,3、大森 雅登1、中村 敏幸3、上村 隆一郎3、須田 淳1,2、加地 徹1 (1.名大未来研、2.名大院工、3.アルバック半電研)