15:30 〜 15:45 [11p-S222-7] 高純度オゾン由来の活性種を用いたAl2O3 バリア膜の室温ALD 成膜 〇亀田 直人1、三浦 敏徳1、森川 良樹1、花倉 満1、中村 健2、野中 秀彦2 (1.明電舎、2.産総研)