13:30 〜 15:30 [11p-PA2-9] カソード加熱型RIE 装置により窒素プラズマ処理したTi 薄膜およびバルクTiO2 の透過率測定 〇長谷部 浩一1、佐藤 美那1、松谷 晃宏1、竹島 利彦2、磯部 敏宏2、中島 章2、松下 祥子2 (1.東工大マイクロプロセス、2.東工大物質理工学院)