13:45 〜 14:00 △ [11p-S011-1] GaCl-O2-N2系およびGaCl3-O2-N2系によるε-Ga2O3気相成長の比較 〇佐藤 万由子1、竹川 直1、村上 尚1、熊谷 義直1 (1.東京農工大院工)