14:00 〜 14:15 [10p-W631-2] HfO2系強誘電体スパッタ薄膜の成長時の酸素分圧が結晶構造・電気特性におよぼす影響 〇佐保 勇樹1、高田 賢志1、桐谷 乃輔1、吉村 武1、芦田 淳1、藤村 紀文1 (1.阪府大工)