10:15 〜 10:30 [9a-M114-6] ハーフインチサイズパッケージでの電気的に安定したビアコンタクト抵抗の形成 〇居村 史人1,2、井上 道弘1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)