09:30 〜 11:30 [11a-PB4-5] 熱劣化したエピタキシャルグラフェン上極薄AlN中間層の修復 〇佐藤 祐大1、寺井 汰至1、鎌田 裕太1、竹内 智哉1、橋本 明弘1 (1.福井大院工)