14:45 〜 15:00 [11p-70A-8] 4H-SiCトレンチのCVD埋戻し成長の高速化 〇紀 世陽1、小杉 亮治1、児島 一聡1、足立 亘平1、河田 泰之1、望月 和浩1、米澤 喜幸1、吉田 貞史1、奥村 元1 (1.産総研)