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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[10a-S221-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

2019年3月10日(日) 09:00 〜 12:00 S221 (S221)

小野行徳(静岡大)、小寺哲夫(東工大)

11:15 〜 11:30

[10a-S221-9] シリコンMOS界面におけるチャージポンピングEDMR

〇堀匡寛¹、土屋敏章¹、小野行徳¹ (1.静大電研)

キーワード：界面欠陥、チャージポンピング、EDMR