[10a-W351-1~6] 9.4 熱電変換

[10a-W351-3] 多層シリセン積層構造を有するエピタキシャルCaSi₂薄膜の熱電特性

〇寺田 吏¹、上松 悠人¹、石部 貴史¹、中村 芳明¹ (1.阪大院基礎工)

キーワード：熱電材料、シリセン、層状物質

近年、安価・無毒なユビキタス材料で構成された熱電材料の開発が求められている。シリセンはグラフェンに類似した構造を有するSiの単原子層膜であり、理論的に高い変換効率（ZT）を示すことが報告されている。本研究では、多層シリセンを結晶構造内に有するCaSi₂に着目した。Si基板上にCaSi₂薄膜をエピタキシャル成長させ、その熱電特性を解明した。結果、室温での出力因子はシリサイド系薄膜において高い値を示した。