[10a-W351-1~6] 9.4 熱電変換

[10a-W351-5] 複雑結晶構造を有するSi基板上BaSi₂薄膜の熱電性能評価

〇石部 貴史¹、近田 尋一郎¹、谷内 卓²、山下 雄大²、末益 崇²、中村 芳明¹ (1.阪大院基礎工、2.筑波大院)

キーワード：熱電材料、シリサイド、ユビキタス元素

安価・無毒な元素から構成されるBaSi₂は、複雑結晶構造由来の極小熱伝導率を示すと予想され、環境にやさしい高性能熱電材料となることが期待される。現状、キャリア密度の調整が不十分であり、出力因子が低い。また、実用化に向けてさらなるk低減も要求される。本研究では、ドーピング濃度の最適化による出力因子増大、及び薄膜化による熱伝導率低減を行うことで、高熱電性能を有するSi基板上BaSi₂薄膜の開発を目的とする。