[10p-M103-1~7] Carbon related materials and plasma processing; state of the art and subjects

[10p-M103-4] Molecular Simulation for Plasma Elementary Processes of Carbon Material

〇Atsushi M Ito¹, Arimichi Takayama¹, Hiroaki Nakamura^1,2 (1.NIFS, 2.Nagoya Univ.)

Keywords:molecular dynamics, carbon, plasma process

応用プラズマ分野と核融合分野における接点として以下の話題を取り上げ、プラズマ照射下における炭素材の分子シミュレーションの今後の展望を議論したい。
・化学スパッタリングと堆積に見る分子動力学の限界
・タングステン繊維状ナノ構造を例にしたプラズマ照射頻度と材料内部の現象の競争[1]
・アモルファス炭素堆積およびプラズマプロセス過程の難しさと分子シミュレーション手法開発による展望