The 66th JSAP Spring Meeting, 2019

Exhibitors

157 results  (1 - 20)

[T-3] ALD Japan, Inc.

Atomic Layer Deposition (ALD) System for substrates and powder (Manufacturer: Anric Technologies, CN1 and Delft IMP (for powder)) , QCM Film Thickness Monitor for Evaporation and ALD process (Max. ...

[V-15] AOV Co., Ltd.

■1. グローブボックス内収納/接続型蒸着装置
■2. 真空蒸着用基板加熱機構(赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース等)
■3. 複合型PLD/MBE蒸着装置
■4. 多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置

[A-12] Bruker Japan K.K.

■AFM(原子間力顕微鏡)、ナノインデンテーションシステム及び、X線回折装置、半導体プロセス向け測定装置のご紹介