イメージングエリプソメトリーによるポーラスシリコンの光学定数測定

16:00 〜 18:00

[10p-PB4-13] イメージングエリプソメトリーによるポーラスシリコンの光学定数測定

〇秋山泰輝¹、飯塚祐基¹、金蓮花¹、近藤英一¹、ジェローズベルナール² (1.山梨大学、2.名古屋大学)

キーワード：ポーラスシリコン、イメージングエリプソメトリー、光学定数

ポーラスシリコン(PS)はフォトルミネッセンスやエレクトロルミネッセンスを持つため発光素子として期待されている．ここでは，イメージングエリプソメトリーを用いてPSナノ構造の光学定数の測定を試みたので，その結果について報告する．