[12p-W611-1~11] 3.13 半導体光デバイス

[12p-W611-3] 高出力面発光レーザ増幅器のビーム品質改善の検討

〇許 在旭¹、志村 京亮¹、顧 暁冬¹、松谷 晃宏²、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研、2.東工大技術部)

キーワード：面発光レーザ、半導体光増幅器

次世代のレーザ加工技術では高出力と高ビーム品質を両立した光源が求められている．我々が提案するVCSEL増幅器は長尺化することで，より高出力かつ幅の狭いビームが得られる．またASEを抑圧することで増幅器長をcm規模まで長尺化できる可能性を示した．今回はパルス動作によるワットクラスの高出力化，および高バイアス領域におけるビーム品質の改善について検討を行ったので報告する．