[12p-W611-1~11] 3.13 Semiconductor optical devices

[12p-W611-5] Beam Scanner Integrated Single-mode VCSEL with Cut-off Wavelength Detuning

〇Keisuke Shimura¹, Zeuku Ho¹, Xiaodong Gu¹, Masanori Nakahama¹, Takahiro Sakaguchi¹, Akihiro Matsutani², Fumio Koyama¹ (1.Tokyo Tech, First, 2.Tokyo Tech, Semiconductor and MEMS Processing Division)

Keywords:VCSEL, LiDAR

本研究では一方向性結合を可能にする面発光レーザ集積ビームスキャナを提案する．これまで光源と導波路型ビームスキャナを集積化したデバイスを提案し，13度の角度掃引幅と30点以上の解像点数を実現した．一方で出力が非常に低く，解像点数も向上が必要であるなどの課題が残った．我々は光源とビームスキャナの結合効率を改善するための新たな構造を提案している．今回はデバイスの試作を行い基本特性の測定を行ったので報告する．