2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[9a-W541-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

2019年3月9日(土) 09:00 〜 12:15 W541 (W541)

秋山 亨(三重大)、谷川 智之(東北大)

11:15 〜 11:30

[9a-W541-9] 放射光ナノビーム X 線回折による窒化物半導体 HEMT デバイスにおける 圧電応答局所格子変形ダイナミクスの観測

植田 瑛1、藤平 哲也1、安藤 祐次2、橋詰 保2、今井 康彦3、隅谷 和嗣3、木村 滋3、酒井 朗1 (1.阪大院基礎工、2.北大量エレ研、3.JASRI)

キーワード:ナノビームX線回折、圧電応答、窒化物半導体