[9p-PB6-1~15] 16.3 シリコン系太陽電池

[9p-PB6-9] ミストCVD法により成膜したGaO_x膜のアニール効果

〇松田 紘明¹、森 英喜¹、新船 幸二¹、佐藤 真一¹、吉田 晴彦¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：ミストCVD法、太陽電池、パッシベーション

ミストCVD法により成膜したGaO_x膜に水素アニール処理を施し、電気特性の評価を行った。