[9p-W323-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断

[9p-W323-1] 衝突輻射モデルに基づく発光分光計測による低気圧マイクロ波放電Arプラズマの電子温度・密度診断

〇山崎 文徳¹、根津 篤¹、赤塚 洋¹ (1.東京工業大学)

キーワード：非平衡プラズマ、衝突輻射モデル、発光分光計測

衝突輻射モデルに基づき、電子温度・密度診断モデルを作成し、発光分光計測によりその診断モデルの有用性を検証した。対象としたのは低気圧マイクロ波放電Arプラズマである。電子温度は5p及び6p準位、電子密度は4s、4p及び5s準位を用いて診断モデルを作成した。また、モデル作成に際し、電子のエネルギー分布はMaxwell分布もしくはDruyvesteyn分布を仮定した。プローブ計測と診断結果を比較したところ、大略が一致する計測を行うことが出来た。