[9p-W323-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [9p-W323-8] 二周波重畳容量結合プラズマ基本特性の実験的評価

〇(M1)三矢 晶洋¹、森山 誠¹、鈴木 陽香¹、豊田 浩孝¹ (1.名大工)

キーワード：二周波重畳容量結合プラズマ、プラズマ密度、自己バイアス電圧